三坐标测量仪的影响因素之一油和水，因为空气压缩机压缩空气时，会将空气中的水分子和油分子压缩为水和油，而且空气压缩机本身工作时也需要润滑油来润滑其机构，也使它有一部分润滑剂注入压缩气体中。流入5气压缩空5气的水和油随着压缩空气进入平衡气缸和4气浮块。三坐标测量机工作时，水和油与导轨相连，使导轨的直线度改变

改变。三坐标测量机不工作时，管道内的油滴会堵塞气浮块的气孔，使气浮块不能正常浮起，造成气浮块与导轨摩擦，损坏气浮块，使气管老化。管路

水中也会腐蚀气浮块和平衡气缸。

三座标测量机影响因素之二：供电其中影响最大的是三坐标测量机的数控系统和计算机系统，电源中的电压不稳定和电扇污垢导致散热不良都会导致系统故障。所以三次元具有稳定压力，

需要稳定电压电源来过滤杂波。

对于三坐标测量机来说，精度是非常重要的一环，任何一个小的因素都会影响其测量精度，所以在使用过程中，应注意对外界环境的影响。